改良化学气相沉积法（MCVD）、外部气相沉积法（OVD）和轴向气相沉积法（VAD）都属于气相沉积（Vapor Deposition）技术，其核心是利用化学反应在高温下产生玻璃前驱体，进而形成多孔的“玻璃烟灰”（Soot），最后烧结成透明的玻璃预制棒。这个过程中产生的烟气和颗粒物是主要的除尘对象。 尘源与粉尘特性 在 VAD、OVD 和 MCVD 工艺中，主要的尘源并非传统的机械粉尘，而是化学反应的副产物和未沉积的微细颗粒物。 化学反应副产物： 这些工艺通常使用氯化物作为玻璃原料（如 SiCl₄ 、GeCl₄ ），在高温下与氧气、氢气等反应生成二氧化硅（SiO₂ ）和掺杂剂氧化物。反应会产生副产物氯化氢（HCl），这是一种强腐蚀性气体，对除尘系统有极大的腐蚀性。 未沉积的“烟灰”（Soot）： 在反应过程中，并非所有的玻璃前驱体都能完全沉积到预制棒上。部分亚微米级甚至纳米级的 SiO₂  和掺杂剂颗粒会随着废气排出，形成肉眼不可见的细微粉尘。 高温烟气： 反应过程在…

光纤预制棒是制造光纤的核心原材料，其生产工艺决定了最终光纤的性能。这些工艺都属于气相沉积法，其核心思想是利用高温化学反应，将高纯度气态原料转变为玻璃微粒，然后沉积并烧结成透明的玻璃棒。我们将详细解说三种主流的光纤预制棒生产工艺：MCVD、OVD和VAD。改良化学气相沉积法（MCVD）MCVD工艺在石英管内部进行化学沉积，是制造高质量光纤的经典技术。核心原理：将高纯度的原料气体（如 SiCl4, GeCl4）通入一根高速旋转的石英管内部。管外有一把移动的氢氧焰加热炬，当加热炬扫过时，管内气体在高温下发生氧化反应，生成纳米级的玻璃微粒（烟灰）。这些微粒在热泳效应的作用下，从高温区域向低温区域移动，沉积在管内壁上。加热炬再次扫过时，将疏松的烟灰层烧结成透明致密的玻璃层。工艺步骤：沉积： 在旋转的石英管内分层沉积，首先沉积纯净的包层，然后通过加入掺杂剂 (GeCl4) 沉积纤芯。塌缩： 沉积完成后，提高温度，使中空的石英管完全收缩成实心的预制棒。优缺点：优点： 沉积在封闭环境，纯净度极高；折射率分布控制非常精确。缺点： 沉积效率低，属于批次生产，产量有限。外部气相沉积法（OVD）OVD工艺与MCVD相反，是在靶棒外部进行沉积，以实现更高的生产效率。核心原理：高纯度原料气体从喷灯喷出，在氢氧火焰中发生水解反应。生成的玻璃烟灰沉积在一根不断旋转且可轴向移动的靶棒外部，形成一个多孔的烟灰预制体。工艺步骤：沉积： 喷灯来回移动，首先沉积纤芯，然后通过改变气体配方沉积包层，形成一个多孔的烟灰棒。取出靶棒： 沉积完成后，将中心的靶棒小心取出。烧结： 将烟灰棒放入烧结炉中，在高温下烧结成透明、致密的实心预制棒。优缺点：优点： 沉积速率快，可以制造大尺寸预制棒，生产效率高。缺点： 沉积过程在开放环境中，易受污染；烧结过程复杂，可能影响精度。轴向气相沉积法（VAD）VAD工艺是一种可以实现连续生产的高效方法。核心原理：使用多个喷灯，在石英籽棒的端面垂直喷射原料气体。在火焰中水解反应生成的玻璃烟灰，连续不断地在籽棒端面沉积，使其沿着轴向不断生长，形成一个多孔的烟灰预制体。工艺步骤：生长： 籽棒以恒定速度向上拉起，同时喷灯持续喷射气体。烟灰不断沉积在籽棒端面，形成一个连续生长的烟灰棒。脱水与烧结： 生长完成的烟灰棒被送入炉中，在高温下进行脱水和烧结，变成致密的玻璃预制棒。优缺点：优点：…